«РОМЕТР» - автоматизированный измеритель удельного электрического сопротивления контактным 4-х зондовым методом (слева) и «ТАУМЕТР-2М» - автоматизированный измеритель времени жизни неравновесных носит ...

Эксплуатируется в рамках ЦКП «Изотопно-геохимических исследований» ИГХ СО РАН

«РОМЕТР» установлен в лаборатории физики монокристаллов в 2006 году, «ТАУМЕТР» в 2010 году. 

Заведующий лабораторией д.ф.-м.н. Евгений Александрович Раджабов, 
тел.: (3952) 51-14-62

ckp19

 

Область применения:
аналитический контроль в полупроводниковом производстве, основное назначение - полупроводниковый кремний.

Технические характеристики:
для физических замеров на обоих приборах подходит любой плоскопараллельный образец материала (пластина, брусок) имеющий УЭС в диапазоне от 0,001 Ом×см до 10000 Ом×см.  Четырёхзондовая головка для измерения УЭС имеет линейное расположение зондов через 1,3 мм. Материал зондов - карбид вольфрама. Максимальные пределы допускаемой основной относительной погрешности измерения для малых величин УЭС от -3% до +3%. Програмное обеспечение делает возможным графическое построение трёхмерных карт распределения УЭС по поверхности пластины (ρ = ρ(x,y)). Диапазон измерения времени жизни от 0,1 мкс до 5000 мкс в пределах допускаемой основной относительной погрешности для малых величин от -30% до +30%. Возбуждение неравновесных носителей заряда осуществляется воздействием на образец излучения лазерного диода с длиной волны 1,06 мкм и регулируемой мощностью 0-500 мВт. Диаметр светового пятна равен 2 мм. Точность вертикального и горизонтального позиционирования диэлектрического резонатора и светового пятна относительно измерительного столика с образцом составляет 10 мкм. Измерение временной зависимости спада фотопроводимости осуществляется в автоматическом режиме по минимуму отражённой от образца мощности СВЧ резонатора с минимальной дискретностью 0,1 МГц. Далее по спаду фотопроводимости по стандартам SEMI MF 1535, MF 28B и ГОСТу определяются значения эффективного времени жизни неравновесных носителей заряда и рассчитываются объёмные.